７日目

よーやく本題の装置のご登場です。
しかし上司は何かと忙しい…
午前中はその装置の掃除だけで終わっちゃったし。
午後より再現性の確認に入りました。やる前にウェハーに処理を施すんだけどその装置が４枚くらい処理した所でエラーが起きる困ったちゃん。やれやれ。
やってることはレジスト塗布なので周りにレジスト臭が漂うのだけどそいつがもー臭いんだ。有毒系の。
耐えられるか。