４日目

インターン生が一人お休み。
今日は露光とエッチングに挑戦。マスクのアライメントとるのむずいわ…
変なとこ触って１枚ウェハーをおシャカにしてまいました。とほほ。
エッチングはただつけるだけだからどーってことないんですが。
レジスト塗布ももう慣れたとタカをくくってたら１枚液を投下しきる前に注入口をどけてしまった。…ちょいとレジスト薄くなったけど大丈夫かな…（汗
お盆は１３〜１７。はてさてこの間に何ができるかな。