2004-08-05 4日目 インターン インターン生が一人お休み。 今日は露光とエッチングに挑戦。マスクのアライメントとるのむずいわ…変なとこ触って1枚ウェハーをおシャカにしてまいました。とほほ。 エッチングはただつけるだけだからどーってことないんですが。 レジスト塗布ももう慣れたとタカをくくってたら1枚液を投下しきる前に注入口をどけてしまった。…ちょいとレジスト薄くなったけど大丈夫かな…(汗 お盆は13〜17。はてさてこの間に何ができるかな。