2004-06-04 ■ 今日の研究室 EBL(電子ビーム露光装置)の手順を一通り見学。特にやることもないので。授業でやったレジストやらプリベークやら、実際みてみないと実感湧かないものです。EBLって要はSEMなのね。端から見る分には眠気がもー。