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昨日学校行って下準備したのにE-beam蒸着がめちゃくちゃ不安定。試料のせいなんですか…
ロータリーポンプを変えてみても若干の改善のみでTMPを起動するまでの真空度に達しない。やはりどっかから漏れてるんだよなー。締めれるだけボルト締めてみたけど全然変わらない。お手上げ…
釣り鐘チャンバーの方は3人がかりであっさり片が付きました。こんなときだけ動員してごめん後輩君。